一、干式螺杆真空泵的结构：
干式螺杆真空泵内装有一对平行的螺旋状的转子，其中一件转子的旋转方向为右旋，另一件为左旋。两个转子在泵体内通过一对齿轮保持同步反向旋转。转子和转子之间，转子与泵体之间没有摩擦且保持一定的间隙，两个转子和泵体形成密封腔，密封腔的个数等于转子的旋转圈数。两个转子在旋转时，与吸气口相连的密封腔空间在旋转过程中逐渐变小，气体被压缩到排气口，长时间运转时需向泵体及端盖的夹套内通入适量的冷却水以对泵进行冷却。因压缩热主要在排气侧产生，为了充分冷却转子，干式螺杆真空泵在多数工况下可以将适量的空气或其他合适的气体通过掺气口导入泵腔。
二、干式螺杆真空泵性能特点：
1、抗腐蚀性设计：在同气体相接触的部件表面均采用了镀镍/特氟龙等涂层，避免气体对压缩腔体部件的腐蚀。
2、无油无水的纯净系统运行：无油无水的纯净的工作过程，极易化工气体介质的回收。
3、低噪音系统的机械设计运行：无金属及部件介面的接触，确保系统长寿命、低振动、低噪音以及低磨损耗。
4、低排气温度：转子用水套冷却系统，在压缩区从内部强化冷却，用这种方法，气体温度可以得到调节。
5、短气路-避免气体冷凝和结露锈蚀机腔。
6、紧凑式一体机组，占地空间小。
7、低真空和高流量干式螺杆真空泵可确保真空极限压力达到0.01Torr, 任何压力下，均可连续运行，螺杆转子具有极高的工作效率。
三、干式螺杆真空泵选择的注意事项：
1、干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、干式螺杆真空泵在其工作压力下，应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、选择真空机组：
（1）当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。
（2）有点真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求 有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统
干式螺杆真空泵选择的注意事项